KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀

KLA 表面光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品介紹：

KLA Zeta-388光學(xué)輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在Zeta-300光學(xué)輪廓儀的基礎(chǔ)上，增加了用于全自動(dòng)測(cè)量的機(jī)械手臂操作系統(tǒng)。Zeta-388光學(xué)輪廓儀采用ZDot技術(shù)和多模組光學(xué)系統(tǒng)，可測(cè)量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級(jí)到毫米級(jí)的臺(tái)階高度。KLA Zeta-388光學(xué)輪廓儀支持OCR和SECS/GEM，從而可用于全自動(dòng)產(chǎn)線的生產(chǎn)制造。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 快速的非接觸式三維光學(xué)輪廓儀

• 多模組光學(xué)系統(tǒng)提供3D掃描、差分干涉、薄膜厚度和自動(dòng)缺陷檢測(cè)

• 全自動(dòng)測(cè)量

• 同時(shí)提取樣品表面的真彩色信息和形貌信息

• 支持100至200mm的晶圓

• 支持OCR和SECS/GEM，適用于自動(dòng)化產(chǎn)線的生產(chǎn)環(huán)境

• 用戶界面簡(jiǎn)潔直觀

主要應(yīng)用：

• 從納米級(jí)到毫米級(jí)的臺(tái)階高度，可用于高深寬比臺(tái)階測(cè)量

• 從亞納米級(jí)至亞毫米級(jí)的表面粗糙度分析，適用于光滑表面和粗糙表面

• Z向高分辨率的白光干涉測(cè)量，可用于廣域臺(tái)階高度測(cè)量

• 移相掃描干涉技術(shù)可快速測(cè)量小于250nm的臺(tái)階高度

• 薄膜應(yīng)力和樣品翹曲測(cè)量

• 測(cè)量30nm到100μm透明薄膜的厚度，可提供薄膜均勻性數(shù)據(jù)和薄膜厚度分布圖

• 自動(dòng)缺陷檢測(cè)，可識(shí)別橫向尺寸大于1μm的缺陷

產(chǎn)品測(cè)量原理：

KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀?的原理?是通過(guò)共聚焦原理實(shí)現(xiàn)樣品的高分辨率、高對(duì)比度的光學(xué)切片能力。它結(jié)合了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡和激光共聚焦顯微鏡的特點(diǎn)，利用寬譜白光作為光源，通過(guò)空間濾波機(jī)制消除離焦光干擾，從而獲得高精度的三維圖像。

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其他應(yīng)用：

KLA 表面光學(xué)輪廓儀測(cè)量圖：