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- P-17KLA 探針式臺階儀
KLA P-17 探針式臺階儀是P系列探針式臺階儀的產品。該系統具備可編程掃描平臺、低噪聲電子分辨率，垂直范圍內實現高分辨率掃描，能夠覆蓋樣品表面整個區域。KLA P-17 探針式臺階儀的優點包括200mm掃描平臺，可以在無需拼接的情況下測量整個基片。UltraLite傳感器組件結合了線性垂直測量和恒定力控制，可測量各種材料和地形。
- 型號：P-17
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
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- D-600KLA 探針式表面輪廓儀
KLA 探針式表面輪廓儀采用光學杠桿傳感器技術提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準確的微力控制。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。
- 型號：D-600
- 更新日期：2025-09-23 ￥面議
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- D-500KLA 探針式表面輪廓儀
KLA D500 探針式表面輪廓儀的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準確的微力控制。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。
- 型號：D-500
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
