今天主要講下，關(guān)于表面形貌的測(cè)量：

通常可分接觸式與非接觸式兩種，在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中，這兩個(gè)方法具有互補(bǔ)性，并且各有不同，因此在實(shí)際應(yīng)用以及選擇機(jī)器的時(shí)候，一定要根據(jù)具體情況而定，建議先咨詢(xún)相關(guān)的技術(shù)工程師。

本期主要說(shuō)下接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器：臺(tái)階儀

臺(tái)階儀根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

基本工作原理如下：

當(dāng)臺(tái)階儀的觸針在被測(cè)的物體表面輕輕滑過(guò)時(shí)，被接觸的物體表面微小的峰谷就會(huì)讓觸針在進(jìn)行滑行的同時(shí)也做一些上下運(yùn)動(dòng)。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運(yùn)動(dòng)情況所體現(xiàn)出來(lái)。

以?xún)?yōu)尼康主推的KLA臺(tái)階儀D-Series & P-series為例，簡(jiǎn)單看下：

觸針傳感器技術(shù)：高度分辨率低于0.1納米

光學(xué)杠桿傳感器: D-Series

電容傳感器 (LVDC): P-Series

所有KLA系列臺(tái)階儀探針均由金剛石制成，具有的可靠性

應(yīng)用：

醫(yī)用支架臺(tái)階高度；藥庫(kù)深度
ITO薄膜臺(tái)階高度；20到200 nm臺(tái)階
太陽(yáng)能電池
蝕刻工藝
LED氮化鎵外延缺陷檢測(cè)
太陽(yáng)能板形貌
硅片減薄形貌
圓角測(cè)試